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  • 分類:關于我們
  • 發(fā)布時間:2022-04-18 16:35:53
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概要:
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詳情

2005年 研制出首臺整體轉子復合分子泵

2010年 研制出FFD可任意角度安裝復合分于泵

2012年 參與國家重大儀器專項(開發(fā)大抽速磁懸浮分子泵)

2013年 研制出國際首臺MDP抗大氣沖擊復合分子泵

2016年 研制出國內(nèi)首臺400口徑磁懸浮分子泵

2018年 推出國內(nèi)首臺400口徑任意角度安裝復合分子泵

2020-2021年 年首臺產(chǎn)業(yè)化demo磁懸浮分子泵應用于半導體產(chǎn)業(yè)

2022-2023年 批量推出性能對標國外磁懸浮分子泵的系列化產(chǎn)品

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17319401086

北京市通州區(qū)興光四街C座119

安徽省合肥市高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)園A-1#3層301

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